@techreport{oai:mie-u.repo.nii.ac.jp:00012451, author = {元垣内, 敦司 and MOTOGAITO, Atsushi and 平松, 和政 and HIRAMATSU, Kazumasa}, month = {May}, note = {application/pdf, 本研究では、光学異方性を有するGaNと金属ワイヤーグリッドを用いて屈折率が1.5以上の高屈折率媒質の高感度検出が可能な伝搬型表面プラズモンセンサーの実現を目指すための基礎検討として、GaP基板上のAu薄膜及びガラス基板上のAu1次元回折格子を用いた表面プラズモンセンサーの作製と特性評価を行った。ガラス基板上のAu1次元回折格子を用いた表面プラズモンセンサーを用いることで、屈折率が1.700までの媒質の検出ができることを明らかにした。更に感度とFOM値の改善を図ることで、耐薬品性に優れたGaN基板を用いた表面プラズモンセンサーの実現が可能になることを示す。, In this study, as a basic study aiming at realization of a propagation type surface plasmon sensor capable of high sensitivity detection of high refractive index medium with a refractive index of 1.5 or more by using optical anisotropic GaN and metal wire grid structure, We fabricated and characterized the surface plasmon sensor using the Au thin film on the GaP substrate and the Au one dimensional diffraction grating on the glass substrate. It was clarified that the medium with the refractive index up to 1.700 can be detected by using the surface plasmon sensor using Au one dimensional diffraction grating on the glass substrate. We also show that by improving sensitivity and FOM value, it becomes possible to realize a surface plasmon sensor using a GaN substrate excellent in chemical resistance., 2014年度~2016年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書, 26390082}, title = {GaNの光学異方性を用いた金属ワイヤーグリッド伝搬型表面プラズモンセンサー}, year = {2017} }