@techreport{oai:mie-u.repo.nii.ac.jp:00014556, author = {永井, 滋一 and Nagai, Shigekazu}, month = {May}, note = {application/pdf, 電子デバイス等の超微細化に伴う,電子ビームを用いた観察・分析装置に高い空間分解能とエネルギー分解能を実現するため,Crを陰極材料に用いた電界放出型電子源を開発し,放出電子のエネルギー幅を評価した。 超高真空下で,タングステン電界放出陰極上形成されたW{113}上の電子放出サイトの形成は,Cr微結晶の形成による局所的な電界増強因子の増大に起因することが明らかになった。放出電子のエネルギー幅は,放出電流の低下に伴って,1 eVから0.5 eVまで低下させることができた。Cr/Wスピン偏極電子源は,電子スピンとエネルギーのコヒーレント性を印加電圧によって切り替え可能な電子源であることが明らかになった。, A field-emitted electron source using Cr as a cathode material was developed and the energy distribution of emitted electrons was evaluated in order to achieve high spatial and energy resolutions for electron beam-based observation and analysis. The formation of electron emission sites on W{113} formed on tungsten field-emitting cathodes under ultrahigh vacuum was attributed to the enhancement of a local field enhancement factor due to the formation of Cr microcrystals. The Cr/W spin-polarized electron source is found to be an electron source that can switch between the electron spin and energy coherency depending on the applied voltage, and the energy width of the emitted electrons can be reduced from 1 eV to 0.5 eV with decreasing emission current., 2018年度~2019年度科学研究費補助金(若手研究)研究成果報告書, 18K14125}, title = {単結晶Cr電界放出陰極からの単色性電子ビーム放出の実証研究}, year = {2020}, yomi = {ナガイ, シゲカズ} }