@misc{oai:mie-u.repo.nii.ac.jp:00015202,
 author = {水野, 元揮},
 month = {Mar},
 note = {application/pdf, 三重大学大学院 工学研究科 博士前期課程 物理工学専攻 ナノプロセッシング研究室, 173p},
 title = {圧縮加工による超平滑面創成と工具表面状態の影響},
 year = {2022}
}