@article{oai:mie-u.repo.nii.ac.jp:00005429, author = {中村, 昇二}, journal = {技術職員による技術報告集}, month = {Feb}, note = {application/pdf}, pages = {24--25}, title = {透過電顕マイクログリッドに発生したφ50nm微粒子状コンタミ}, volume = {20}, year = {2012} }