@article{oai:mie-u.repo.nii.ac.jp:00005497, author = {梅田, 直明}, journal = {技術職員による技術報告集}, month = {Feb}, note = {application/pdf, X線や電子線によるミクロンやナノレベルの測定では様々な要因が結果に影響を及ぼす。今回、光電子分光分析注1装置(XPS)により2種類の材料、4 種類の試料固定方法で測定を行い、測定結果を比較した。また、この結果比較から生じた違いの考察を行ったので報告する。*注1・・・光電子分光分析では試料表面にX 線を照射することで試料から発生する光電子のエネルギー値から構成元素や化学結合状態を知ることができる。}, pages = {21--23}, title = {試料固定方法の違いによる影響について}, volume = {23}, year = {2015} }