4H-SiC/SiO₂界面における界面反応機構に関する理論的研究

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Permalink : http://hdl.handle.net/10076/00019900

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File / Name	License
2020ME0199
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アイテムタイプ	学位論文 / Thesis or Dissertation
言語	日本語
著者	清水紀志
著者（ヨミ）	シミズツナシ
内容記述	三重大学大学院工学研究科博士前期課程物理工学専攻ナノサイエンス・ナノテクノロジー領域 178ｐ
発行年	2021-03
フォーマット	application/pdf
著者版フラグ	publisher
出版者	三重大学
出版者（ヨミ）	ミエダイガク
修士論文指導教員	秋山亨
資源タイプ（三重大）	Master's Thesis / 修士論文