本研究では，電気泳動堆積を利用したPDMS系樹脂材料と粒子状セラミックス材料の共堆積による複合膜の形成メカニズムの検証を行い，樹脂とセラミックス粒子の相互作用による共堆積メカニズムであることを明らかにした。さらにこの堆積メカニズムを利用した堆積膜の構造制御により，高絶縁性，高放熱性を共立する複合膜形成のプロセスを確立できた。
In this research, we verified the formation mechanism of composite film by co-deposition of PDMS-based resin material and particulate ceramics material using electrophoretic deposition, and revealed that it is a co-deposition mechanism due to interaction between resin and ceramics particles. Furthermore, by controlling the structure of the deposited film using this deposition mechanism, we were able to establish a process for forming a composite film that supports high electrical insulation and high heat dissipation.
電気泳動堆積膜の生成過程のマイクロ／ナノスケール解析：複合膜の高放熱化を目指して
2021RP0088
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