@article{weko_5429_1,
   author	 = "中村,昇二",
   title	 = "透過電顕マイクログリッドに発生したφ50nm微粒子状コンタミ",
   journal	 = "技術職員による技術報告集",
   year 	 = "2012",
   volume	 = "20",
   number	 = "",
   pages	 = "24--25",
   month	 = "feb"
}