WEKO3
アイテム
Ion-Beam Engineering and Its Application to Micro Machine Processing
http://hdl.handle.net/10076/3999
http://hdl.handle.net/10076/39995bc0d78b-4935-440d-bb6f-1af864be8630
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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AA008163410180003.PDF (295.8 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||
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| 公開日 | 2007-07-02 | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | Ion-Beam Engineering and Its Application to Micro Machine Processing | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | ion beam | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | ion implantation | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | micro-machine | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | non-equilibrium | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | aluminum | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | nitrogen | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | trench structure | |||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||
| 著者 |
鈴木, 泰之
× 鈴木, 泰之
× 妹尾, 允史
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| 抄録 | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||
| 内容記述 | This summary introduces new technology of mechanical engineering using ion beam technique. Ion-beam process is induced from plasma state. Engineering working may not proceed satisfied in equilibrium state but in non-equilibrium as the technology becomes precise and high level. Vacuum deposition, ion plating, sputtering and ion implantation are classified with their energy. Preliminary application of ion implantation to micromachine processing is reviewed. Aluminum plate was maked, irradiated by nitrogen ion (with 40keV, 10μA/cm² and 0.1C/cm²), etched with 0.1N NaOH. Trench structure of 15μm in depth and a high aspect ratio of 0.9 was achived. | |||||||||||||
| 書誌情報 |
Research reports of the Faculty of Engineering, Mie University 巻 18, p. 1-5, 発行日 1993-12-21 |
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| ISSN | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||||
| 収録物識別子 | 0385-6208 | |||||||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||
| 収録物識別子 | AA00816341 | |||||||||||||
| フォーマット | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||
| その他のタイトル | ||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 値 | マイクロマシン加工における粒子線工学とその応用 | |||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||
| 出版者 | Faculty of Engineering, Mie University | |||||||||||||
| 資源タイプ（三重大） | ||||||||||||||
| 値 | Departmental Bulletin Paper / 紀要論文 | |||||||||||||
