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  1. 40 大学院工学研究科・工学部
  2. 40K 科研費報告書
  3. 2022年度

窒化物半導体ヘテロ接合における界面揺らぎの制御と量子光学デバイス応用

http://hdl.handle.net/10076/0002000255
http://hdl.handle.net/10076/0002000255
793318c5-b3a6-45d1-be5d-e8b267cd2352
名前 / ファイル ライセンス アクション
2023RP0077.pdf 2023RP0077.pdf (1.1 MB)
Item type 報告書 / Research Paper(1)
公開日 2023-12-21
タイトル
タイトル 窒化物半導体ヘテロ接合における界面揺らぎの制御と量子光学デバイス応用
言語 ja
タイトル
タイトル Control of Interface Fluctuation in Nitride Semiconductor Heterostructure and its Application to Quantum Optical Devices
言語 en
言語
言語 jpn
キーワード
主題Scheme Other
主題 窒化物半導体
キーワード
主題Scheme Other
主題 窒化アルミニウム
キーワード
主題Scheme Other
主題 表面形態
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws
資源タイプ research report
著者 正直, 花奈子

× 正直, 花奈子

ja 正直, 花奈子

en Shojiki, Kanako

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抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 本研究では、量子光学応用を目的として、AlGaN気相成長において、原子層レベルの界面揺らぎの制御と、それが光学特性に与える影響を明らかにすることを目的として行った。まず、AlNテンプレートにおける表面平坦性を確保するために、低転位密度のスパッタアニールAlN上に有機金属気相成長(MOVPE)法を用いてAlNのホモエピタキシャル成長を行い原子層レベルで平坦なステップフロー成長による表面を実現した。その上に積層したAlGaN/AlGaN量子井戸を積層し、その発光特性を調べた。更にパターン加工AlN上への選択MOVPE成長により表面の原子層ステップ端密度を制御することができた。
抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 he purpose of this study was to control the interface fluctuations in AlGaN vapor phase growth for quantum optical applications and to clarify their effects on optical properties of AlGaN quantum wells (QWs). First, to achieve flat AlN templates with low threading dislocation, homo-epitaxial growth of AlN on face-to-face annealed sputtered AlN (FFA Sp-AlN) was performed using metal organic vapor phase epitaxy (MOVPE). Then, we realized a atomically flat surface with step-and-terrace structure of MOVPE-grown AlN on FFA Sp-AlN. AlGaN/AlGaN QWs were grown on the MOVPE-grown AlN/FFA Sp-AlN and their luminescence properties were investigated. Furthermore, selective MOVPE growth on patterned AlN allowed us to control atomic-step-edge-density on the AlN surface.
内容記述
内容記述タイプ Other
内容記述 2019年度~2021年度科学研究費補助金(若手研究)研究成果報告書
bibliographic_information
発行日 2022-05-20
フォーマット
内容記述タイプ Other
内容記述 application/pdf
出版タイプ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
出版者
出版者 三重大学
出版者(ヨミ)
ミエダイガク
科研費番号
内容記述タイプ Other
内容記述 19K15025
item_8_text_65
Kaken / 科研費報告書
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Ver.1 2023-12-21 01:01:35.349706
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