| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2008-03-05 |
| タイトル |
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タイトル |
イオンビーム支援蒸着法を用いて形成した窒化炭素薄膜のトライボロジー特性と微細構造との相関 : Arイオンアシスト効果 |
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言語 |
ja |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Ion-Beam-Assisted Deposition |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Mechanical Properties |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Microstructure |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Carbon Nitride |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Thin Film |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Transmission Electron Microscopy |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| 著者 |
太田, 英伸
松室, 昭仁
高橋, 裕
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| 抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
Carbon nitride (C-N) thin films have been prepared by ion-beam-assisted deposition. The correlation of the influence of the Ar ion assist in the tribological properties and microstructure of C-N films were investigated. The ion-beam gas ratio (Ar/N_2 ratio) was changed between 0 and 2. The tribological properties were measured by pin-on-disc type tribotester. The microstructure of the C-N thin films was investigated by X ray photoelectron spectroscopy (XPS) and transmission electron microscopy (TEM). The friction coefficients were 0.15-0.20 irrespective of the ion-beam gas ratio and frictional materials. However, the film which formed under condition of Ar/N_2 =1.0 showed excellent wear resistance. It also showed highest hardness of 21 GPa in this experiment. By the XPS analysis and TEM observation, microstructure of C-N thin film changed from amorphous to three dimensional crystalline-like structure by Ar ion adddtion. Consequently, it shows that the addition of Ar ion was very effective for improvement of mechanical properties when C-N thin film was formed by ion-beam-assisted deposition. |
| 書誌情報 |
日本機械学會論文集. A編
巻 67,
号 659,
p. 1235-1241,
発行日 2001-07-25
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| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
PISSN |
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収録物識別子 |
0387-5008 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AN0018742X |
| 権利 |
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権利情報 |
社団法人日本機械学会 |
| 権利 |
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権利情報 |
本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである |
| フォーマット |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
application/pdf |
| 著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
| 日本十進分類法 |
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主題Scheme |
NDC |
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主題 |
570 |
| その他のタイトル |
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値 |
Relationship between Tribological Properties and Microstructures in Carbon Nitride Thin Films Prepared by Ion-Beam-Assisted Deposition : Effect of Ar Ion Assist |
| 出版者 |
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出版者 |
日本機械学会 |
| 関係URI |
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関連名称 |
http://ci.nii.ac.jp/naid/110002369918/ |
| 資源タイプ（三重大） |
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値 |
Journal Article / 学術雑誌論文 |
40A6633.pdf (923.5 kB)
