Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
公開日 |
2008-04-30 |
タイトル |
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タイトル |
電気抵抗温度依存性の測定によるアルミニウム薄膜の音速評価 |
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言語 |
ja |
言語 |
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言語 |
jpn |
キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Relaxation Time |
キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Linear Response Theory |
キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Force-Force Correlation Function |
キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Pseudopotential Method |
資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
著者 |
孫, 新
小竹, 茂夫
鈴木, 泰之
妹尾, 允史
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抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
The evaluation of sound velocity, elastic constant of thin film has not been well established. The relation between electrical resistivity and sound velocity has been clarified from the calculation on the temperature dependence of electrical resistivity by well-known linear response theory. From the experimental data of electrical resistivity, we evaluated sound velocity and elastic constant of thin films by using the linear response theory, pseudopotential method. We also confirmed the method to evaluate the mechanical properties of thin film by measuring electrical resistivity. |
書誌情報 |
日本機械学會論文集. A編
巻 64,
号 621,
p. 1410-1414,
発行日 1998-05-25
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ISSN |
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収録物識別子タイプ |
PISSN |
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収録物識別子 |
0387-5008 |
書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AN0018742X |
権利 |
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権利情報 |
社団法人日本機械学会 |
権利 |
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権利情報 |
本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである |
フォーマット |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
application/pdf |
著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
日本十進分類法 |
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主題Scheme |
NDC |
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主題 |
420 |
その他のタイトル |
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値 |
Evaluation of sound velocity of aluminum films by measurements of temperature dependence of electrical resistivities |
出版者 |
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出版者 |
日本機械学会 |
関係URI |
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関連名称 |
http://ci.nii.ac.jp/naid/110002374588/ |
資源タイプ(三重大) |
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値 |
Journal Article / 学術雑誌論文 |