| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2008-03-05 |
| タイトル |
|
|
タイトル |
イオンビーム支援蒸着法により形成されたTiN配向薄膜の変形特性に関する考察 |
|
言語 |
ja |
| 言語 |
|
|
言語 |
jpn |
| キーワード |
|
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
Plasticity |
| キーワード |
|
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
Anisotropy |
| キーワード |
|
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
Hardness |
| キーワード |
|
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
Titanium Nitride |
| キーワード |
|
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
Slip System |
| キーワード |
|
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
Preferred Orientation |
| キーワード |
|
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
Ion-Beam-Assisted Deposition |
| キーワード |
|
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
Thin Film |
| キーワード |
|
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
Coating |
| 資源タイプ |
|
|
資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
|
資源タイプ |
journal article |
| 著者 |
林, 敏行
松室, 昭仁
渡邊, 知彦
森, 敏彦
高橋, 裕
山口, 勝美
|
| 抄録 |
|
|
内容記述タイプ |
Abstract |
|
内容記述 |
The plastic deformation of TiN thin films was considered by the hardness anisotropy of these films with the (111) and (200) preferred orientation. These hardness were measured by the nano-indentation technique as have already been reported. The plastic deformation of TiN films were caused by indentation of the trigonal diamond tip, and the evidence of this phenomenon was given by the cross-sectional SEM observation and the TED analysis. The influence of difference of residual stress and grain size on the hardness anisotropy was restrictive, and the hardness anisotropy can be explained by the anisotropy of the yield stress calculated by Schmid's law. This relationship suggests the existence of {100} <110> slip system of TiN crystal. The TEM observation of brittle cracks of TiN films also makes it clear that these cracks caused not by the cleavage fracture but by the intergranular fracture. |
| 書誌情報 |
日本機械学會論文集. A編
巻 65,
号 636,
p. 1818-1823,
発行日 1999-08-25
|
| ISSN |
|
|
収録物識別子タイプ |
PISSN |
|
収録物識別子 |
0387-5008 |
| 書誌レコードID |
|
|
収録物識別子タイプ |
NCID |
|
収録物識別子 |
AN0018742X |
| 権利 |
|
|
権利情報 |
社団法人日本機械学会 |
| 権利 |
|
|
権利情報 |
本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである |
| フォーマット |
|
|
内容記述タイプ |
Other |
|
内容記述 |
application/pdf |
| 著者版フラグ |
|
|
出版タイプ |
VoR |
|
出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
| 日本十進分類法 |
|
|
主題Scheme |
NDC |
|
主題 |
570 |
| その他のタイトル |
|
|
値 |
Consideration of Deformation of TiN Thin Films with Preferred Orientation Prepared by Ion-beam-assisted Deposition |
| 出版者 |
|
|
出版者 |
日本機械学会 |
| 関係URI |
|
|
|
関連名称 |
http://ci.nii.ac.jp/naid/110002375095/ |
| 資源タイプ（三重大） |
|
|
値 |
Journal Article / 学術雑誌論文 |
40A6634.pdf (893.5 kB)
