| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2008-03-05 |
| タイトル |
|
|
タイトル |
Mechanical Properties of TiN Films with the Preferred Orientations by Nano-Indentation Method |
|
言語 |
en |
| 言語 |
|
|
言語 |
eng |
| キーワード |
|
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
Mechanical properties |
| キーワード |
|
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
TiN film |
| キーワード |
|
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
Preferred orientation |
| キーワード |
|
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
Nano-indentation |
| 資源タイプ |
|
|
資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
|
資源タイプ |
journal article |
| 著者 |
MATSUMURO, Akihito
WATANABE, Tomohiko
HAYASHI, Toshiyuki
MORI, Toshihiko
TAKAHASHI, Yutaka
|
| 抄録 |
|
|
内容記述タイプ |
Abstract |
|
内容記述 |
TiN films with the(111)and(200)preferred orientations were formed on Si(100)and sapphire(0001)substrates by ion-beam-assisted deposition. The difference in the mechanical properties between the(111)and(200)preferred orientation in TiN thin films was clarified by the nano-indentation technique with the trigonal diamond tip. The experiments revealed significant differences in hardness H and modulus E^* irrespective of the substrate materials. The measured values were H=16 GPa, E^*=316 GPa for the(200)preferred orientation and H=9 GPa, E^*=192 GPa for the(111)preferred orientation. The behavior of the plastic deformation in the TiN films was estimated by the cross-sectional SEM observation and the TEM analysis. These microstructural analyses showed significant difference in cross-sectional views of the plastic deformation and the intergranular fracture mechanism. |
| 書誌情報 |
Materials science research international
巻 6,
号 3,
p. 180-185,
発行日 2000-09-15
|
| ISSN |
|
|
収録物識別子タイプ |
PISSN |
|
収録物識別子 |
1341-1683 |
| 書誌レコードID |
|
|
収録物識別子タイプ |
NCID |
|
収録物識別子 |
AA11046472 |
| 権利 |
|
|
権利情報 |
社団法人日本材料学会 |
| 権利 |
|
|
権利情報 |
本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである |
| フォーマット |
|
|
内容記述タイプ |
Other |
|
内容記述 |
application/pdf |
| 著者版フラグ |
|
|
出版タイプ |
VoR |
|
出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
| 日本十進分類法 |
|
|
主題Scheme |
NDC |
|
主題 |
570 |
| 出版者 |
|
|
出版者 |
Society of Materials Science |
| 関係URI |
|
|
|
関連名称 |
http://ci.nii.ac.jp/naid/110002283873/ |
| 資源タイプ（三重大） |
|
|
値 |
Journal Article / 学術雑誌論文 |
40A6638.pdf (2.0 MB)
