| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2008-03-03 |
| タイトル |
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タイトル |
GaAsエピタキシャル成長における吸着-脱離現象への理論的アプローチ(<小特集>結晶成長理論の最近の動向) |
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言語 |
ja |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| 著者 |
寒川, 義裕
伊藤, 智徳
田口, 明仁
白石, 賢二
平岡, 佳子
入澤, 寿美
大鉢, 忠
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| 抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
A newly developed ab initio-based approach was applied for understanding adsorption-desorption behavior during molecular beam epitaxial growth of GaAs. The ab initiobased approach incorporates free energy of vapor phase; therefore we can calculate how adsorption and desorption depend on growth temperature and beam equivalent pressure (BEP). Versatility of the theoretical approach was confirmed by the calculation of Ga adsorption-desorption transition temperatures and transition BEPs on Ga-rich GaAs (001)-(4×2)β2 surface. Furthermore, in order to check the feasibility of the theoretical approach for prediction of adsorption-desorption behavior of As_2 molecules, the conditions where GaAs(001)-c (4×4) reconstructed structure is stable were investigated by the calculations of stability of As-dimers on the top surface under the various temperatures and BEPs. We also applied the theoretical approach to Ga diffusion length while staying on the GaAs (001)- (2×4)β2 and - (2×4)β1 surfaces and As pressure dependence of GaAs growth rate. |
| 書誌情報 |
日本結晶成長学会誌
巻 29,
号 1,
p. 57-64,
発行日 2002-04-10
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| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
PISSN |
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収録物識別子 |
0385-6275 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AN00188386 |
| 権利 |
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権利情報 |
日本結晶成長学会 |
| 権利 |
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権利情報 |
本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである |
| フォーマット |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
application/pdf |
| 著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
| 日本十進分類法 |
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主題Scheme |
NDC |
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主題 |
450 |
| その他のタイトル |
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値 |
Ab initio-based Approach to Adsorption-Desorption Behavior during GaAs Epitaxial Growth (<Special Issue>Recent Trend of Crystal Growth Theory) |
| 出版者 |
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出版者 |
日本結晶成長学会 |
| 関係URI |
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関連名称 |
http://ci.nii.ac.jp/naid/110002715523/ |
| 資源タイプ（三重大） |
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値 |
Journal Article / 学術雑誌論文 |
40A6573.pdf (697.3 kB)
