| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2008-03-05 |
| タイトル |
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タイトル |
Consideration of Deformation of TiN Thin Films with Preferred Orientation Prepared by Ion-Beam-Assisted Deposition |
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言語 |
en |
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言語 |
eng |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Plasticity |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Anisotropy |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Hardness |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Titanium Nitride |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Slip System |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Preferred Orientation |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Ion-Beam-Assisted Deposition |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Thin Film |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Coating |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| 著者 |
HAYASHI, Toshiyuki
MATSUMURO, Akihito
WATANABE, Tomohiko
MORI, Toshihiko
TAKAHASHI, Yutaka
YAMAGUCHI, Katsumi
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| 抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
Plastic deformation of TiN thin films with (111) and (200) preferred orientation was determined based on their hardness anisotropy. Hardness was measured by means of the nano-indentation technique. Plastic deformation of TiN films was caused by the indentation of the trigonal diamond tip, and evidence of this phenomenon was provided by cross-sectional scanning electron microscopy (SEM) observation and transmission electron diffraction (TED) analysis. The influence of the differences in residual stress and grain size on hardness anisotropy was restrictive, and hardness anisotropy can be explained by the anisotropy of yield stress as calculated using Schmid's law. This relationship suggests the existence of a {100}<110> slip system in the TiN crystal. Transmission electron microscopy (TEM) observation of brittle cracks in TiN films confirmed that these cracks are caused not by cleavage fractures but by intergranular fractures. |
| 書誌情報 |
JSME international journal. Series A, Solid mechanics and material engineering
巻 44,
号 1,
p. 94-99,
発行日 2001-01-15
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| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
PISSN |
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収録物識別子 |
1344-7912 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AA11179396 |
| 権利 |
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権利情報 |
社団法人日本機械学会 |
| 権利 |
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権利情報 |
本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである |
| フォーマット |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
application/pdf |
| 著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
| 日本十進分類法 |
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主題Scheme |
NDC |
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主題 |
570 |
| 出版者 |
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出版者 |
Japan Society of Mechanical Engineers |
| 関係URI |
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関連名称 |
http://ci.nii.ac.jp/naid/110002974684/ |
| 資源タイプ（三重大） |
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値 |
Journal Article / 学術雑誌論文 |
40A6636.pdf (701.8 kB)
